Tool für die 3D-Lithografie und den 3D-Mikrodruck vorgestellt

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Multiphoton Optics ist Partner im Nanonetz Bayern e.V.

Das Tool arbeitet mit einer Laserwellenlänge im grünen Spektralbereich, der sich für die 3D Strukturierung von gängigen Fotolacken eignet. Erzielbare Bauteilhöhen von über 1 cm, Oberflächen mit Rauheiten in der Größenordnung von 10 nm, Strukturgrößen von kleiner als 100 nm und Schreibgeschwindigkeiten schneller als 1000 mm/s sind möglich.

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